Conţinutul numărului revistei |
Articolul precedent |
Articolul urmator |
333 4 |
Ultima descărcare din IBN: 2023-10-04 11:41 |
Căutarea după subiecte similare conform CZU |
621.3.049.77:621.793 (1) |
Electrotehnică (1161) |
Tehnologie mecanică în general: procese, scule, mașini, aparate (145) |
SM ISO690:2012 ДОАН, Х., ГОЛОСОВ, Д., ДЖАНГ, Дз., МЕЛЬНИКОВ, С., ЗАВАДСКИЙ, С.. Применение оптической эмиссионной спектроскопии для прогнозирования состава пленок при реактивном магнетронном распылении Ti-Al составных мишеней. In: Электронная обработка материалов, 2023, nr. 1(59), pp. 60-69. ISSN 0013-5739. DOI: https://doi.org/10.52577/eom.2023.59.1.60 |
EXPORT metadate: Google Scholar Crossref CERIF DataCite Dublin Core |
Электронная обработка материалов | ||||||
Numărul 1(59) / 2023 / ISSN 0013-5739 /ISSNe 2345-1718 | ||||||
|
||||||
DOI:https://doi.org/10.52577/eom.2023.59.1.60 | ||||||
CZU: 621.3.049.77:621.793 | ||||||
Pag. 60-69 | ||||||
|
||||||
Descarcă PDF | ||||||
Rezumat | ||||||
Исследованы процессы реактивного магнетронного распыления Ti-Al составных мишеней c различным соотношением Al/Ti. Установлены зависимости скорости нанесения, напряжения разряда, элементного состава, интенсивности контрольных линий оптического излучения плазмы от концентрации кислорода в Ar/O2 смеси газов. Показано, что при реактивном распылении Ti-Al составных мишеней напряжение разряда определяется эффективным коэффициентом ионно-электронной эмиссии (КИЭЭ), который зависит от площади, занимаемой металлами на мишени, степенью их окисления и КИЭЭ металлов и их оксидов. Скорость нанесения пленок TixAl1-xOy в металлическом и переходном режиме распыления увеличивается пропорционально доле Al в мишени, а относительная концентрация металлов в нанесенных пленках зависит от содержания кислорода в Ar/O2 смеси газов и определяется реакционной способностью входящих в состав мишени материалов. Методом оптической эмиссионной спектроскопии (ОЭС) показано, что соотношение атомных концентраций Al и Ti в наносимых пленках TixAl1-xOy однозначно зависит от отношения интенсивности контрольных линий оптического излучения алюминия AlI и титана TiI в плазме. Это позволяет использовать метод ОЭС для прогнозирования содержания металлов в пленке при реактивном магнетронном распылении Ti-Al мишеней. |
||||||
Cuvinte-cheie реактивное магнетронное распыление, тонкие пленки, оксид титана и алюминия, составная мишень, оптическая эмиссионная спектроскопия, напряжение разряда, скорость распыления, элементный состав, reactive magnetron sputtering, thin films, titanium-aluminum oxide, composite target, optical emission spectroscopy, discharge voltage, sputtering rate, Elemental composition |
||||||
|